普達特科技(00650.HK) -0.002 (-0.813%) 公布,今日(10日)向客戶發出OCTOPUS平臺半導體濕法清洗設備。該等設備訂單的收入暫未確認。
OCTOPUS濕法處理平臺配置16個腔體,適用於有大規模量產需求以及追求最大化的單位時間晶圓產出的客戶。OCTOPUS平臺設備的腔體和化學藥液供應系統採用同垂直面陣列佈局,在提供高產能的同時也能保證最佳的化學藥液回收效率;另提供多種晶圓Chuck配置方案,滿足客戶晶圓單面清洗、雙面清洗、邊緣清洗和刻蝕等定製化需求。
該等產品為單片晶圓清洗設備,其設計用於矽晶圓清洗,以去除任何黏附顆粒及有機/無機雜質。(jl/s)(港股報價延遲最少十五分鐘。)
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