| 姓名 | 石平湘 | 職務 | 董事長 |
| 性別/年齡 | 男/77 | 學歷 | 專科 |
| 簡歷 | 石平湘，男，1948年12月出生，中國國籍，無境外永久居留權，專科學歷。1968年1月至1973年1月，因“知青上山下鄉運動”務農；1973年1月至1976年1月，在佛山市機關農場務農；1976年1月至1984年1月，擔任佛山市二氧化碳研究所經理；1984年1月至1985年9月，擔任佛山市微電腦開發中心經理；1985年9月至1987年7月，在廣東廣播電視大學學習深造；1987年7月至1993年3月，籌備並擔任佛山市創業科技公司副總經理；1993年4月至2012年2月，擔任廣東華南特種氣體研究所有限公司執行董事、總經理；1999年2月至2008年7月，擔任佛山市華特氣體有限公司執行董事、總經理；2008年8月至2015年6月，擔任佛山市華特氣體有限公司執行董事；2015年6月至今，擔任廣東華特氣體股份有限公司董事長。 |
| 姓名 | 石思慧 | 職務 | 副董事長 |
| 性別/年齡 | 女/47 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 石思慧，女，1978年12月出生，中國國籍，無境外永久居留權，碩士學位。2009年1月至2015年6月，擔任佛山市華特氣體有限公司總經理助理；2015年6月至今，擔任廣東華特氣體股份有限公司董事、副總經理；2016年4月至今，擔任廣東華特氣體股份有限公司副董事長。 |
| 姓名 | 傅鑄紅 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/52 | 學歷 | 本科 |
| 簡歷 | 傅鑄紅，男，1973年出生，中國國籍，無境外永久居留權，本科學歷，暨南大學MBA研修班結業，取得控制工程正高級工程師、工程維護技術高級工程師、化工機械工程師、注冊安全工程師。1997年3月至2002年8月，擔任佛山市溶劑廠主任科員；2002年8月至2003年7月，擔任佛山市華特氣體有限公司技術員、研發部經理；2003年7月至2006年1月，籌建並擔任邢台市晶華特種氣體有限公司總經理；2006年2月至2015年6月，歷任佛山市華特氣體有限公司銷售經理、研發部經理、副總經理；2015年6月至今，擔任廣東華特氣體股份有限公司董事、總經理。 |
| 姓名 | 張穗華 | 職務 | 非獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/53 | 學歷 | 碩士 |
| 簡歷 | 張穗華，男，1972年8月出生，中國國籍，有香港永久居留權，碩士學位。1996年8月至2000年3月，擔任香港建業塑膠五金廠項目工程師；2000年4月至2015年6月，擔任佛山市華特氣體有限公司副總經理；2012年2月至今，擔任亞太氣體實業有限公司董事；2015年6月至今，擔任廣東華特氣體股份有限公司董事、副總經理。 |
| 姓名 | 魯瑾 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 女/55 | 學歷 | 本科 |
| 簡歷 | 魯瑾，女，1970年1月出生，中國國籍，無境外永久居留權，本科學歷。1991年7月至1996年9月任浙江省嘉興市電子工業局科員；1996年10月至今任北京萬勝博訊高科技發展有限公司監事；2002年1月至今歷任中國電子材料行業協會經技部主任、常務副秘書長；2010年12月至2016年11月任江蘇太平洋石英股份有限公司獨立董事；2011年1月至今任中國可再生能源學會理事；2015年12月至2021年12月任浙江水晶光電科技股份有限公司獨立董事；2017年8月至2023年8月任江蘇聯瑞新材料股份有限公司獨立董事；2020年4月至今任廣東華特氣體股份有限公司獨立董事；2021年6月至今任中巨芯科技股份有限公司獨立董事；2021年8月至今任北京八億時空液晶科技股份有限公司獨立董事;2022年10月至今任大連科利德半導體材料股份有限公司獨立董事；2023年6月至今任浙江美晶新材料股份有限公司獨立董事。 |
| 姓名 | 肖文德 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/60 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 肖文德，男，1965年11月出生，中國國籍，無境外永久居留權，博士學位。1992年1月至2008年12月任華東理工大學講師、副教授、教授、長江學者；2009年1月至今任上海交通大學特聘教授；2004年9月至今任上海申川環保科技有限公司監事；2012年10月至2019年7月任河南矽烷科技發展股份有限公司（曾名為許昌首山天瑞科技有限公司）董事；2013年5月至今任上海魯沂能源技術有限公司董事；2016年10月至今任河南矽烷科技發展股份有限公司首席科學家；2018年6月至今任上海申欣川環保工程技術有限公司董事、技術總監；2021年5月至今任上海思卡隆科技有限公司執行董事；2021年6月至今任廣東華特氣體股份有限公司獨立董事。 |
| 姓名 | 譚有超 | 職務 | 獨立董事 |
| 性別/年齡 | 男/42 | 學歷 | 博士 |
| 簡歷 | 譚有超先生，男，1983年出生，中國國籍，無境外永久居留權，博士研究生學歷。曾在東北財經大學、西南財經大學任職，2018年4月至今進入暨南大學管理學院會計系工作，現任暨南大學管理學院會計系教授，系副主任，會計碩士（MPAcc）教育中心執行主任，廣東省會計學會理事。兼任廣東新寶電器股份有限公司、科順防水科技股份有限公司獨立董事。 |