智通財經APP獲悉,英特爾(INTC.US) 週一表示,阿斯麥(ASML.US) 的首批兩台先進光刻機已在其工廠“投入生產”。早期數據顯示,這些新型光刻機比舊款機型更可靠。
英特爾高級首席工程師Steve
Carson在加州聖何塞舉行的會議上表示,英特爾利用阿斯麥的高數值孔徑(NA)光刻機在一個季度內生產了3萬片晶圓,這種大型硅片可以生產數千顆計算芯片。
去年,英特爾成為全球首家接收這些機器的芯片製造商,預計這些機器將生產比阿斯麥舊款機型更小、更快的計算芯片。此舉標誌着英特爾戰略的轉變,該公司在採用上一代極紫外
(EUV) 光刻機方面落後於競爭對手。
Carson表示,在最初的測試中,阿斯麥高數值孔徑光刻機的可靠性大約是前一代機器的兩倍。
Carson表示:“我們以穩定的速度生產晶圓,這對平台來説是一個巨大的福音。”
Carson表示,英特爾工廠的早期結果顯示,高數值孔徑光刻機只需一次曝光和“個位數”的處理步驟就能完成舊款機器需要三次曝光和大約40個處理步驟才能完成的工作。
英特爾曾表示,計劃使用高數值孔徑光刻機來幫助開發所謂的18A製造技術,該技術計劃於今年晚些時候與新一代個人電腦芯片一起進行量產。
該公司表示,計劃利用下一代製造技術14A將高數值孔徑光刻機投入全面生產,但尚未透露該技術的量產日期。
(美股為即時串流報價; OTC市場股票除外,資料延遲最少15分鐘。)新聞來源 (不包括新聞圖片): 智通財經