3月5日|在阿斯麥(ASML)今日發佈的主題為“攜手推進技術向新”的2024年度報告中,首席執行官克里斯托弗·福凱(Christophe Fouquet)表示:“如果我展望ASML的未來增長,光刻技術無疑仍然是摩爾定律的主要驅動力之一,我們相信這一點在未來許多年裏依然成立。與此同時,正如我們幾年前就意識到的,二維收縮(2D shrink)正變得越來越困難。這並不完全是由於光刻技術的侷限性,而是因為我們幾乎達到了邏輯和存儲器客户所使用的晶體管的極限。為了繼續在二維收縮方面取得進展,我們需要在架構和器件上進行創新。這意味着需要進行三維前道整合(3D front-end integration),而這將為我們帶來增長機會——因為三維整合技術依賴於鍵合(Bonding),而這又需要一體化光刻技術(holistic lithography)。我認為,三維整合將成為二維收縮日益重要的補充技術或技術組合。”
新聞來源 (不包括新聞圖片): 格隆匯