据《中国光谷》微信公众号表示,内地首条基於12寸40nm CMOS工艺线的全国产化硅光PDK(工艺设计套件)、TDK(测试设计套件)及ADK(封装设计套件)流片服务平台日前正式在光谷投用,可提供芯片从集成设计到封装验证的全流程支撑,满足科研成果转化和产品研制中的快速迭代需求。
该平台由国家信息光电子创新中心建设营运。该平台创新构建硅光MPW服务模式,通过将多个芯片设计集成於同一晶圆流片,实现成本分摊,大幅降低研发门槛。该平台基於40nm制程的硅光PDK1.0性能总体达到商用要求,其加工精度、波导损耗及光耦合效率等指标达国际先进水平。(ta/da)
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